伯东企业上海有限公司真空产品事业部

美国进口HVA 88200系列矩形真空闸板阀

伯东企业(上海)有限公司乃美国 HVA 在中国的总代理, 全权负责其在中国市场的销售和服务.

HVA 88200系列矩形真空闸板阀特点:

ü 在阀开的状态, 密封圈完全隐藏, 可以避免粉尘颗粒污染

ü 在阀闭的状态, 有挡板可以防止物质进入阀内部, 防止污染, 保护阀正常使用.

ü 可现场维护, VAT阀要求替换整个阀, HVA可留在系统上,维护时只取内部零件,密封圈容易清洁或替换, 可明显节省时间和维护成本.

ü 阀体积小, 振动低.

ü 硬质不锈钢驱动主轴, 使用寿命长.

ü 阀门板上没有滚轮和导轨.

ü 阀体不是铸铝, 而是在铝块上机械切割出来的, 以减少铸铝中常见的气泡和金属放气现象.

HVA 88200系列矩形真空闸板阀应用领域:

• AKT 离子系统

• Emcore/Veeco,Cree,PECVD系统

• 大学和研究所

• 薄膜沉积系统

• 溅镀或蒸发式沉积系统

• 开口宽度从150mm到2000mm 全包括

HVA 88200系列矩形真空闸板阀与VAT(02/03系列)技术规格比较表:

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