伯东企业上海有限公司真空产品事业部

伯东企业（上海）有限公司代理美国HVA 真空闸板阀, 负责其在大陆的销售和维修。

HVA28200＆88200系列真空矩形闸板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA闸板阀专用于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。HVA板阀外形尺寸小，设计紧凑，可靠应用于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与工艺腔室（process chamber）等等，需要分隔真空压力的地方。

28200＆88200系列矩形板阀产品特点：

1. 超百万次可靠运行寿命

2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计

3. 阀动作平稳,振动和冲击小

4. 标准接口，或按客户要求定制

5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理

6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下

28200＆88200系列矩形板阀技术参数

28200＆88200系列矩形板阀部件图

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